設備名稱:
硅單晶棒定向儀
設備用途:
該儀器專門用于硅單晶棒定向測量，與YX-6Z型晶棒粘接儀 配套使用。最大特點是，測量晶向后直接計算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，根 據(jù)偏晶向的要求進行準確計算偏晶向的角度值。測定值可打印，打印記錄項目包括晶棒批次信息、方位θ值、測定日期及實間粘接調(diào)整角度值。 三、設備配置：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、單片機控制、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、晶棒自動旋轉(zhuǎn)控制、峰值強度表等組成。計算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測量精度±0.008度，能夠測量直徑2-8英寸，長100-450㎜，測量晶面為110、100等。設備配有防護罩。 |
