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  針對(duì)客戶(hù)測(cè)量大直徑、長(zhǎng)尺寸硅晶圓片、晶棒而設(shè)計(jì)，此儀器為雙工作位。

  標(biāo)準(zhǔn)配置如下：GA, GC測(cè)角儀。
    1、一側(cè)用于測(cè)3--8英寸晶圓片111、100面，還可測(cè)晶棒參考面（110）等角度。
    2、另一側(cè)用于測(cè)直徑5----8英寸，長(zhǎng)800mm晶棒（111、100）晶面等角度。

  主要參數(shù)：