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針對(duì)客戶(hù)測(cè)量大直徑、長(zhǎng)尺寸硅晶圓片、晶棒而設(shè)計(jì)，此儀器為雙工作位。
標(biāo)準(zhǔn)配置如下：GA, GC測(cè)角儀。
1、一側(cè)用于測(cè)3--8英寸晶圓片111、100面，還可測(cè)晶棒參考面（110）等角度。
2、另一側(cè)用于測(cè)直徑5----8英寸，長(zhǎng)800mm晶棒（111、100）晶面等角度。
主要參數(shù)：
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項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
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晶棒直徑 |
5---8英寸、最大11寸 |
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晶棒長(zhǎng)度 |
800 mm |
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樣品板面積 |
43寬×112高mm |
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定向精度 |
±30″ |
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數(shù)顯方式 |
θ：度；分；秒；最小讀數(shù)10″ |
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顯示器 |
外置立式 |
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技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù)。 |
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尺 寸 |
1210×810×1420 mm | |
